Avancées dans la croissance de l'oxyde d'aluminium pour les supraconducteurs
La recherche se concentre sur l'optimisation des couches d'oxyde d'aluminium pour de meilleurs jonctions supraconductrices.
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Table des matières
- Le défi des défauts dans les barrières fines
- Différentes manières de faire pousser des couches d'oxyde d'aluminium
- Mesurer la croissance de l'oxyde d'aluminium
- Comprendre les processus d'oxydation
- Observations des expériences
- Implications pour la qualité des jonctions
- Comparaison des méthodes de croissance
- Directions futures
- Conclusion
- Source originale
Les structures trilayers Nb/Al-AlO/Nb sont super importantes dans le domaine des supraconducteurs, surtout pour fabriquer des dispositifs capables de traiter l'information rapidement. Ces structures sont composées de trois couches : niobium (Nb), aluminium (Al) et oxyde d'aluminium (AlO). Elles sont utilisées dans des applis comme les qubits, qui sont les blocs de construction de l'informatique quantique, et dans différents types de mélangeurs pour les signaux radio.
Le défi des défauts dans les barrières fines
Un des principaux défis pour fabriquer ces jonctions, c'est de s'assurer que la couche d'oxyde d'aluminium est suffisamment fine pour permettre une haute performance sans défauts. Une couche trop fine peut causer un "Courant de fuite", ce qui signifie que du courant coule là où il ne devrait pas. Ça peut foutre en l'air le fonctionnement de la jonction.
Alors que les structures à base de niobium peuvent atteindre une haute performance avec des barrières en nitrure d'aluminium, il est souvent plus simple de contrôler les propriétés des couches d'oxyde d'aluminium. Du coup, les chercheurs cherchent à créer des barrières d'oxyde d'aluminium de haute qualité qui ne soient ni trop épaisses, ni trop fines.
Différentes manières de faire pousser des couches d'oxyde d'aluminium
Les chercheurs ont utilisé deux techniques principales pour faire pousser des couches d'oxyde d'aluminium : l'oxydation statique et dynamique. L'oxydation statique consiste à faire pousser la couche sans changer l'atmosphère autour une fois que le processus commence. Dans l'oxydation dynamique, l'atmosphère change en continu, souvent en pompant de nouveaux gaz pendant le processus. Ça permet de mieux contrôler la croissance et les propriétés de la couche d'oxyde d'aluminium.
Pour cette étude, les chercheurs ont fait pousser des couches d'oxyde d'aluminium en utilisant de l'oxygène pur et des gaz d'oxygène dilués. Le gaz dilué ne contient qu'une petite quantité d'oxygène mélangée avec un autre gaz (argon).
Mesurer la croissance de l'oxyde d'aluminium
Pour étudier comment les couches d'oxyde d'aluminium se forment, les chercheurs utilisent une technique appelée ellipsométrie. Cette méthode mesure comment la lumière se reflète sur la surface et peut fournir des données en temps réel sur l'épaisseur de la couche au fur et à mesure de sa formation. Ça n'a jamais été fait de manière approfondie pour ce genre de couches.
En utilisant l'ellipsométrie, les chercheurs ont pu découvrir des motifs inattendus pendant la croissance des couches d'oxyde d'aluminium, ce qui va aider à trouver les meilleures conditions pour créer des jonctions de haute qualité.
Comprendre les processus d'oxydation
Dans le processus de croissance de l'oxyde d'aluminium, il y a des facteurs importants à prendre en compte :
Exposition à l'oxygène : Ça se calcule en fonction de la quantité de gaz d'oxygène utilisée et du temps d'exposition. L'exposition affecte l'épaisseur de la couche d'oxyde d'aluminium.
Pression et temps : La pression du gaz et le temps qu'il est laissé à réagir jouent aussi un grand rôle dans la formation de l'oxyde d'aluminium.
Taux de croissance : L'épaisseur initiale a tendance à croître rapidement au début du processus, mais ralentit avec le temps, indiquant différentes étapes de croissance.
Observations des expériences
Pendant les expériences, il a été observé que :
L'épaisseur de la couche d'oxyde d'aluminium variait beaucoup en fonction des conditions utilisées (statique vs. dynamique et oxygène pur vs. dilué).
Avec l'oxydation statique utilisant de l'oxygène pur, les chercheurs ont trouvé des résultats prévisibles. Cependant, la croissance dynamique avec de l'oxygène dilué a montré un comportement différent, où les couches avaient tendance à être plus épaisses que prévu.
La vitesse de croissance et l'épaisseur finale dépendaient aussi énormément de la pression du gaz utilisé. Des pressions plus élevées entraînaient une croissance plus rapide.
Implications pour la qualité des jonctions
La qualité de la couche d'oxyde d'aluminium affecte directement la performance des jonctions niobium-aluminium. Une couche de meilleure qualité signifie moins de courant de fuite et une densité de courant critique plus élevée. Donc, l'objectif de cette recherche est de découvrir les meilleures conditions pour faire pousser ces couches.
Comparaison des méthodes de croissance
Les méthodes d'oxydation statique et dynamique ont été testées pour voir leur efficacité à produire des couches d'oxyde d'aluminium.
Dans l'oxydation statique avec de l'oxygène pur, les couches étaient généralement plus fines et plus prévisibles.
L'oxydation dynamique avec le gaz dilué a donné des couches plus épaisses, ce qui suggère que ça pourrait être plus efficace pour obtenir les propriétés désirées dans certains cas.
Les conclusions tirées de ces expériences vont aider à guider les efforts futurs pour fabriquer des jonctions supraconductrices avec des propriétés optimales.
Directions futures
Pour améliorer la compréhension de la croissance de l'oxyde d'aluminium, d'autres études vont se concentrer sur :
- L'exploration de pressions et de mélanges de gaz plus variés.
- S'assurer que les méthodes donnent des résultats cohérents à travers plusieurs essais.
- Examiner comment différents paramètres de traitement affectent la performance des jonctions finales.
Conclusion
En résumé, la croissance des couches d'oxyde d'aluminium est un aspect critique pour créer des jonctions supraconductrices niobium-aluminium de haute performance. Les résultats de cette recherche indiquent que tant la méthode d'oxydation que la composition du gaz utilisé peuvent entraîner des différences significatives dans les propriétés des couches d'oxyde d'aluminium. Cette connaissance est essentielle pour développer de meilleurs dispositifs supraconducteurs qui seront plus rapides et plus efficaces pour les technologies futures.
Titre: Dynamic Versus Static Oxidation of Nb/Al-AlOx/Nb Trilayer
Résumé: High quality Nb-based superconductor-insulator-superconductor (SIS) junctions with Al oxide (AlO$_x$) tunnel barriers grown from Al overlayers are widely reported in the literature. However, the thin barriers required for high critical current density (J$_c$) junctions exhibit defects that result in significant subgap leakage current that is detrimental for many applications. High quality, high-J$_c$ junctions can be realized with AlN$_x$ barriers, but control of J$_c$ is more difficult than with AlO$_x$. It is therefore of interest to study the growth of thin AlO$_x$ barriers with the ultimate goal of achieving high quality, high-J$_c$ AlO$_x$ junctions. In this work, 100\%\ O$_2$ and 2\%\ O$_2$ in Ar gas mixtures are used both statically and dynamically to grow AlO$_x$ tunnel barriers over a large range of oxygen exposures. In situ ellipsometry is used for the first time to extensively measure AlO$_x$ tunnel barrier growth in real time, revealing a number of unexpected patterns. Finally, a set of test junction wafers was fabricated that exhibited the well-known dependence of J$_c$ on oxygen exposure (E) in order to further validate the experimental setup.
Auteurs: Tannaz Farrahi, Alan W. Kleinsasser, Michael Cyberey, Jie Wang, Micahel B. Eller, Jian Z. Zhang, Anthony R. Kerr, Joseph G. Lambert, Robert M. Weikle, Arthur W. Lichtenberger
Dernière mise à jour: 2024-09-08 00:00:00
Langue: English
Source URL: https://arxiv.org/abs/2306.12684
Source PDF: https://arxiv.org/pdf/2306.12684
Licence: https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
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