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# Física# Procesado de imagen y vídeo# Aprendizaje automático# Óptica

Avances en imágenes 3D para circuitos integrados

Un nuevo método de imagen acelera el análisis de circuitos integrados usando aprendizaje automático.

― 7 minilectura


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La imagen tridimensional de estructuras pequeñas, como las que se encuentran en circuitos integrados, es clave para asegurar la calidad y seguridad. Para lograr esto, se necesitan dos pasos principales: primero, capturar los detalles de la muestra a través de un método de imagen especial; segundo, mover la muestra en diferentes ángulos para obtener una vista completa. Hay dos formas de mover la muestra: una se llama tomográfica y la otra laminográfica. Esta última suele ser mejor para muestras planas porque da una vista más amplia, lo que facilita ver lo que hay dentro. Sin embargo, ambos métodos suelen llevar mucho tiempo, requiriendo una recolección y procesamiento de datos largos.

Acelerando el Proceso

El objetivo de las investigaciones recientes es acelerar el proceso de captura de imágenes detalladas de circuitos integrados. Usando un nuevo enfoque que combina conceptos de física y aprendizaje automático, los investigadores lograron disminuir el número de ángulos necesarios para la imagen y reducir el tiempo dedicado a los cálculos. Descubrieron que la calidad de las imágenes producidas era incluso mejor que las obtenidas con métodos tradicionales, gracias a la capacidad de su nueva técnica para completar los datos faltantes.

El Papel de los Rayos X

Los rayos X son muy útiles para mirar dentro de materiales complejos sin dañarlos. Sus propiedades únicas permiten una profunda penetración en los materiales, lo que los hace ideales para examinar la estructura interna de los circuitos integrados. Para mejorar la calidad de las imágenes, la muestra puede girarse mientras se toman los rayos X. La forma en que la muestra rota puede influir mucho en la calidad de la imagen resultante. Para estructuras planas, a menudo se usa una rotación en ángulo, lo que ayuda a mantener niveles de absorción de rayos X consistentes, llevando a una imagen más precisa.

Entendiendo la Ptychografía

La ptychografía es una técnica de imagen poderosa que implica que la muestra o la fuente de luz se muevan para capturar varias imágenes desde diferentes posiciones. Esta técnica permite crear imágenes más grandes con mejor detalle. Una serie de algoritmos conocidos ayudan a procesar los datos capturados de estos movimientos, que incluyen métodos que refinan iterativamente la imagen basada en los datos recolectados.

La Nueva Configuración de Imagen

En la nueva configuración de imagen, los circuitos integrados son iluminados con rayos X en una geometría especial. A medida que la muestra gira alrededor de un ángulo específico, se escanea en múltiples puntos para recopilar una variedad de imágenes. Esta configuración permite a los científicos obtener una perspectiva tridimensional de la estructura de la muestra de manera más eficiente.

Para mejorar el proceso de imagen, se emplea un método de preprocesamiento para convertir los datos de imagen en bruto en una forma más manejable antes de usar técnicas avanzadas de aprendizaje automático. Luego, una red de aprendizaje profundo especializada toma estos datos procesados y genera una imagen 3D del circuito integrado. Esta red se basa en un marco que le ayuda a aprender de los datos sin necesitar un ejemplo perfecto predefinido para comparar.

Beneficios del Nuevo Enfoque

El nuevo enfoque disminuye significativamente el tiempo necesario para crear imágenes detalladas. Usando menos ángulos y menos potencia computacional, el método permite la reconstrucción de imágenes de alta calidad en una fracción del tiempo que normalmente llevaría. Este método puede lograr estos resultados incluso cuando el número de proyecciones colectadas es limitado, demostrando su robustez y adaptabilidad.

Procedimiento Experimental

El proceso de imagen utiliza una instalación especializada para capturar imágenes de circuitos integrados. Se usan rayos X para iluminar la muestra, que es girada en ángulos fijos. Durante este proceso, se capturan patrones de difracción en varios puntos, creando una gran cantidad de datos para trabajar. Cada etapa de la configuración de imagen está organizada metódicamente para garantizar que se obtengan los mejores resultados posibles.

El método básico implica una serie de pasos que recuperan y alinean meticulosamente los datos recopilados. Después de juntar las imágenes, una técnica de reconstrucción volumétrica sintetiza la información en una representación tridimensional completa de la muestra. Si bien este método tradicional logra buenos resultados, también puede ser lento.

Mejorando la Calidad de la Reconstrucción

La nueva técnica de imagen no solo acelera el proceso, sino que también mejora la calidad de las imágenes producidas. Los investigadores notaron que con menos ángulos, las reconstrucciones aún podían representar con precisión los circuitos integrados. La parte de aprendizaje automático trabaja para llenar los huecos causados por datos limitados, mejorando la claridad y calidad general de la imagen, especialmente en detalles más finos.

Entendiendo los Componentes de ADePt

La avanzada arquitectura de aprendizaje auto-supervisado desarrollada para esta técnica de imagen se conoce como ADePt. Se compone de dos partes principales: un paso ligero de preprocesamiento y una red neuronal profunda. El paso de preprocesamiento simplifica los patrones de difracción en bruto, facilitando que la red neuronal genere imágenes precisas.

La red neuronal está diseñada para operar sin necesidad de ejemplos predefinidos, lo que es una ventaja significativa. Procesa los datos mientras se adhiere a principios físicos, asegurando que las soluciones sean realistas y representativas de las estructuras reales que se están modelando. Esto es un importante cambio respecto a los métodos tradicionales que a menudo dependen en gran medida de datos preexistentes.

Comparación con Métodos Tradicionales

Al comparar el rendimiento de ADePt con el de métodos tradicionales, los resultados muestran claras ventajas. A pesar de usar menos ángulos, ADePt puede producir imágenes que son más detalladas y precisas, especialmente en la captura de características de alta frecuencia que son críticas para analizar circuitos integrados. Puede manejar datos dispersos mejor que los enfoques convencionales, haciéndolo una opción prometedora para uso futuro.

Desafíos en Reconstrucciones Densamente Muestreadas

Si bien los métodos tradicionales pueden proporcionar reconstrucciones de alta calidad, también presentan desafíos. Las reconstrucciones densamente muestreadas a menudo producen artefactos y pueden no representar con precisión ciertas características debido a la forma en que se recopilan los datos. Estos problemas surgen de la iluminación desigual de los rayos X y patrones de muestreo inconsistentes. ADePt aborda estos desafíos de manera efectiva, llenando los huecos y presentando imágenes más fiables.

La Importancia de las Características

La capacidad de representar con precisión características 3D de circuitos integrados es crítica, ya que estas estructuras son cada vez más complejas y más pequeñas. Esta investigación es particularmente valiosa ya que se adapta a las demandas de la tecnología moderna, permitiendo una mejor inspección y comprensión de componentes electrónicos intrincados.

Direcciones Futuras

Los investigadores creen que hay un gran potencial para mejorar aún más el marco de ADePt. Estudios futuros podrían explorar el uso de diferentes tipos de especímenes y otros métodos para procesar los datos. Adoptar nuevas estrategias, como asignar diferentes pesos a los datos recopilados según su importancia, podría llevar a prácticas de imagen aún más eficientes.

Conclusión

Los avances en técnicas de imagen presentados en esta investigación muestran un gran potencial para el futuro del análisis de circuitos integrados. Al combinar el aprendizaje automático con principios físicos, ADePt mejora efectivamente el proceso de imagen mientras reduce el tiempo y la complejidad tradicionalmente asociados con estas operaciones. La capacidad de obtener imágenes 3D de alta calidad con datos limitados abre nuevas avenidas para la investigación y la aplicación en tecnología, potencialmente llevando a mejoras en la seguridad y confiabilidad de los circuitos integrados.

Fuente original

Título: Accelerated deep self-supervised ptycho-laminography for three-dimensional nanoscale imaging of integrated circuits

Resumen: Three-dimensional inspection of nanostructures such as integrated circuits is important for security and reliability assurance. Two scanning operations are required: ptychographic to recover the complex transmissivity of the specimen; and rotation of the specimen to acquire multiple projections covering the 3D spatial frequency domain. Two types of rotational scanning are possible: tomographic and laminographic. For flat, extended samples, for which the full 180 degree coverage is not possible, the latter is preferable because it provides better coverage of the 3D spatial frequency domain compared to limited-angle tomography. It is also because the amount of attenuation through the sample is approximately the same for all projections. However, both techniques are time consuming because of extensive acquisition and computation time. Here, we demonstrate the acceleration of ptycho-laminographic reconstruction of integrated circuits with 16-times fewer angular samples and 4.67-times faster computation by using a physics-regularized deep self-supervised learning architecture. We check the fidelity of our reconstruction against a densely sampled reconstruction that uses full scanning and no learning. As already reported elsewhere [Zhou and Horstmeyer, Opt. Express, 28(9), pp. 12872-12896], we observe improvement of reconstruction quality even over the densely sampled reconstruction, due to the ability of the self-supervised learning kernel to fill the missing cone.

Autores: Iksung Kang, Yi Jiang, Mirko Holler, Manuel Guizar-Sicairos, A. F. J. Levi, Jeffrey Klug, Stefan Vogt, George Barbastathis

Última actualización: 2023-04-10 00:00:00

Idioma: English

Fuente URL: https://arxiv.org/abs/2304.04597

Fuente PDF: https://arxiv.org/pdf/2304.04597

Licencia: https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/

Cambios: Este resumen se ha elaborado con la ayuda de AI y puede contener imprecisiones. Para obtener información precisa, consulte los documentos originales enlazados aquí.

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