周波数がプラズマ電子に与え周波数がプラズマ電子に与える影響イナミクスへの周波数効果の分析。キャパシティブ結合プラズマにおける電子ダプラズマ物理学CCPにおける電子の挙動に対する駆動周波数の影響この記事では、駆動頻度が容量結合プラズマ内の電子ダイナミクスにどのように影響するかを調べているよ。2025-10-28T09:47:09+00:00 ― 1 分で読む