EUVシステムにおける磁気EUVシステムにおける磁気革新ズイオンのダメージを減らす。新しい磁気方法でリソグラフィーにおけるス応用物理学EUVリソグラフィのゴミ管理のための革新的な磁気ソリューション新しい磁気構成は、EUVシステムでのスズイオンのダメージを減らすのに期待できそうだ。2025-10-09T18:28:00+00:00 ― 1 分で読む