スパッタリングにおけるイオスパッタリングにおけるイオンの動きが明らかにされたを向上させることができる。イオンの挙動についての洞察は、薄膜の堆積プラズマ物理学マグネトロンスパッタリングプロセスにおけるイオンの挙動を理解する研究がマグネトロンスパッタリングにおけるイオンの動きについての洞察を明らかにした。2025-10-29T10:54:21+00:00 ― 1 分で読む